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少子壽命測試儀(MDP)
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MD picts溫度依賴型壽命測試係統,可檢測電阻率高於 0.3 Ω cm的單晶矽與多晶矽,重要聚焦缺陷、少子壽命及光電導的溫度依賴型測量,同時可檢測矽中的汙染物及電活性晶體中的缺陷,具備微波光電導衰減瞬態(μPCD)和穩態(MDP)測量功能。
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